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Ich bin jetzt weder Physiker noch Chemiker, aber ich würde spontan (und nach einem kurzen Ausflug auf Wikipedia) sagen, dass es schon ein paar mehr sein müssten, da Atome angeblich (!) in Größenordnungen von ca. 50-150 pm liegen. Dazu muss man auch noch in 3 Dimensionen denken.
Genau ausrechnen kann man es vermutlich nicht, da die unterschiede der einzelnen Atome doch nicht unerheblich sind (z.B. Silicium 111-117pm aber Kohlenstoff 76-77pm)

Materie besteht aber größtenteils aus nichts. Die Größe der Atome ist daher nicht unbedingt wichtig, sondern ihre Dichte, bzw. die Dichte der Gitter. Mathematik über das Volumen, die Dichte und die Atommasse dürfte wohl nicht so schwierig sein.
22nm³ * Dichte / Atommasse
Ich habe es mal fix eingetippt und komme auf ~533. Also nicht sonderlich viel. Ohne Garantie, vielleicht habe ich irgendwo irgendwelche Potenzen verdreht

Bleibt da Trotzdem nicht noch das Problem, dass es auch unterschieldiche Atome sprich unterschiedliche Massen sind?

Ich habe mich da wohl um 3 Stellen vertan, schätze ich. g/cm³ und kg, da fehlt noch eine Umrechnung in kg und in Meter. Vielleicht auch noch was Wenn ich auf kg und Meter umrechne, müssten dann etwa 533.000 sein.
Das Silicium ist mit maximal 1:10.000 dotiert oder so. Das kann man wohl außen vor lassen. Mit nur 533 Atomen bei so einer Dotierungsdichte würde der ganze Spaß wohl auch nicht funktionieren. Ein paar Atome mehr müssen's also schon sein als ein paar hundert.

Bitte beachten, dass diese Zahl für (22nm)³ steht, nicht für die Anzahl Atome in einem Transistor an sich. Der hat ja etwas komplexere Bauform und die genauen Maße sind mir nicht bekannt.

Laut Wolfram sind es 1100 Atome (deckt sich auch mit meiner Rechnung)

Das kommt aber wie ich schon erklärt habe rein logisch nicht mit der Dotierungsdichte hin. Sicher, dass Du nicht auch ein paar Einheiten vergessen hast? Ansonsten bin ich natürlich gern neugierig für die konkreten Zahlen.

Ich bin jetzt nicht so bewandert in Elektrotechnik, aber die 22nm beziehen sich auf eine bestimmte Länge und sagt nichts über Breite und Tiefe der dotierten Schicht. Wenn wir also eine Würfel mit Kantenlänge 22nm zur Berechnung heranziehen, sind wir schon bei ca. 500000 Atomen.
Verdammt, der Unterschied 22 nm^3 und (22 nm)^3

http://www.wolframalpha.com/input/?i=106…ilicon+to+atoms
korrigierter Link

Na dann lag ich ja doch ganz gut